PSMP

Kopf mit individueller Teilungssteuerung

PSIVH-Serie

Jedes Attach wird von einem eigenen Linearmotor angetrieben. Ein Kopf unterstützt gleichmäßige, unregelmäßige und beliebige Teilungsanordnungen.

0.1 ㎛Positionsauflösung
±0.003 mmWiederholgenauigkeit
1,000 mm/sHöchstgeschwindigkeit
3 GMax. Beschleunigung
Produktdarstellung des Kopfes mit individueller Pitch-Steuerung in einer 4-Achsen-Beispielkonfiguration: Vier Attach-Leisten hängen in unterschiedlichen Abständen am schwarzen Gehäuse.

Teilungssteuerung

Die Teilungsumwandlung passt den Abstand der aus einem Tray aufgenommenen Teile an den für den Prozess erforderlichen Abstand an. Dafür gibt es zwei Verfahren; dieses Produkt arbeitet individuell.

Gleichmäßige Teilungsänderung

Alle Attaches bewegen sich gemeinsam mit gleichem Abstand. Geeignet für wiederholte Teilungsumwandlungen mit gleichmäßigen Abständen.

Diagramm zur gleichmäßigen Teilungsänderung: Sechs gleichmäßig angeordnete Attaches werden nach der Umwandlung auf einen größeren, weiterhin gleichmäßigen Abstand gebracht.

Individuelle TeilungssteuerungDieses Produkt

Jedes Attach bewegt sich einzeln. Das ermöglicht asymmetrische Anordnungen und eine Positionskorrektur für jedes Attach.

Diagramm zur individuellen Teilungssteuerung: Sechs gleichmäßig angeordnete Attaches bewegen sich nach der Umwandlung jeweils auf unterschiedliche Abstände.

Hauptmerkmale

Unabhängige Achsensteuerung
Jedes Attach wird einzeln gesteuert, sodass ein Kopf Anordnungen mit gleichem Pitch sowie unregelmäßige und beliebige Layouts handhaben kann.
Kompakter Direktantrieb
Die Linearmotoren befinden sich im Kopf; Kugelgewindetriebe, Riemen und externe Antriebe entfallen.
Schnelle Einzelbewegung
Jedes Attach bewegt sich unabhängig mit bis zu 3 G und 1,000 mm/s.
Absolute Positionsrückmeldung
Hochauflösende Absolutwertgeber melden die Position in Echtzeit, sodass der Kopf ohne Referenzfahrt arbeiten kann.
Bildgestützte Kompensation in 0.1 µm-Schritten
Die Position jedes Attaches wird anhand der Bildverarbeitung in Schritten von 0.1 µm korrigiert.
Wartungsarm
Ohne Kurvenscheiben, Gestänge oder Riemen entstehen nur geringer Verschleiß und wenig Umkehrspiel; die Genauigkeit bleibt langfristig erhalten.

Aufbau des Kopfes

Schnittdarstellung des Kopfinneren: oben die Schnittstellenplatine, darunter und darüber zwei Reihen roter und blauer Magnetanordnungen, dazwischen vier bewegliche Attach-Blöcke und an beiden Enden die Linearführungen.
  • Magnetanordnung
  • UVW-Linearmotorspule
  • Optischer Absolutwertgeber
  • Encoder-Skala mit Schutzabdeckung
  • Schnittstellenplatine
  • Linearführung
  • Attach-Block
  • Hochflexibles Kabel

Anwendungen

Der in einer Anlage montierte Kopf mit individueller Pitch-Steuerung senkt seine vier Düsen über einer Wafer-Bühne ab.
Diagramm: Ein 4x4-Tray-Raster links wird hinter dem Pfeil in eine Reihe aus sechs gleichmäßig angeordneten Attaches umgewandelt.

Teilungsanpassung vom Tray an den Prozess

Passt die Teilung im Tray an die für den Prozess benötigte Teilung an.

Diagramm: Eine Bildverarbeitungskamera erfasst mehrere darunterliegende Attaches und misst den Positionsversatz jedes einzelnen.

Korrektur des Bildverarbeitungs-Offsets

Korrigiert die Position jedes Attaches anhand der Rückmeldung der Bildverarbeitung.

Diagramm: Fünf unterschiedlich beabstandete Attaches werden jeweils an einer versetzt angeordneten quadratischen Komponente ausgerichtet.

Unterstützung asymmetrischer Anordnungen

Wandelt eine unregelmäßige Tray-Anordnung in das für den Prozess benötigte Layout um.

Technische Daten

Die technischen Daten hängen von der Konfiguration ab. · Die folgenden Werte zeigen ein 4-Achsen-Beispiel.

Bestellnummer

  1. PSIVHBaureihe
  2. Anzahl der Attaches
    • 02 : 2 parallel
    • 04 : 4 parallel
    • Weitere Optionen sind verfügbar
  3. Maximaler Teilungsverfahrweg
    • 100 : 100 mm
    • 300 : 300 mm
    • Weitere Optionen sind verfügbar
  4. Nutzlast je Attach
    • 300 : 300 g
    • 500 : 500 g
    • Weitere Optionen sind verfügbar
Technische Daten des Kopfes mit individueller Teilungssteuerung
BaureihePSIVH
MotortypLinearmotor · Direktantrieb
Wiederholgenauigkeit±0.003 mm
Positionsauflösung0.1 ㎛
Höchstgeschwindigkeit1,000 mm/s
Maximale Beschleunigung3 G
Versorgungsspannung24 / 48 Vdc
Leistung je Attach24 Vdc · 1 A
Leistung (Nennwert / Spitze)6.12 / 10.7 W
Kraft (Nennwert / Spitze)12.2 / 21.4 N
Strom (Nennwert / Spitze)0.8 / 1.4 Arms
Kraftkonstante15.28 N/Arms
Phasenanzahl3
Magnetteilung14.1 mm
EncoderOptisch, absolut
AusgangssignalBiss-C
Sensorspannung5 Vdc
Achsenanzahl4
Maximaler Teilungsverfahrweg270 mm
Nutzlast je Attach700 g
Abmessungen318 (W) x 38 (D) x 170 (H) mm
GesamtmasseCa. 4 kg
Montage4-M5 TAP DP8 · Ø5 / Ø4 Positionierstifte
AnschlussMolex 105310-1216 x 4 (Gegenstück 105308-1216)

※ Basierend auf einem Teilungsbereich von 15-60 mm.

Abmessungen und Optionen

Maßzeichnung einer 4-Achsen-Beispielkonfiguration: Drauf-, Vorder-, Seiten- und Rückansicht mit einer Gesamtbreite von 318 mm, einer Höhe von 170.20 mm und einer Tiefe von 38.20 mm sowie den 4-M5-Montagegewinden und der Position des Molex-Anschlusses. Die Kennzeichnung PSIVH-04-270-700 in der Zeichnung ist die Bestellnummer dieser Beispielkonfiguration.
Vor der Konstruktionsfreigabe prüfen

Der Attach-Block wird nach der Kundenzeichnung gefertigt. Prüfen Sie die Einbaubedingungen anhand der freigegebenen Zeichnung.

Optionen

Diagramm: Rote Pfeile zeigen von oben, unten, links und rechts auf das Kopfgehäuse.

Montage an 4 Seiten

Montage von allen vier Seiten und in jeder Ausrichtung möglich.

Diagramm: Ein Molex-Kabel wird in den Anschluss an der Rückseite des Kopfes gesteckt.

Molex-Schnellanschluss

Molex-Steckverbinder ermöglichen einen schnellen Kabelanschluss und eine zügige Verdrahtung.

Diagramm: Der Taster einer Messuhr berührt eine Attach-Leiste, um die Geradheit zu messen.

Präzise Attach-Ausrichtung

Mit einer Messuhr auf eine Geradheit innerhalb von 0.01 mm ausgerichtet.

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Quelle: Produktprospekt

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